首页
? 产品中心
? CVD镀膜设备
? 硬碳膜制备设备
FHL-600型硬碳膜制备设备
编号:SN20150801154211421
类别:硬碳膜制备设备
设备用途
单室立式结构的高真空镀膜设备,可用于开发单层膜—类金刚石膜(DLC)等。类金刚石膜具有红外光谱透过率高、硬度高、摩擦系数小、化学稳定性好等优点,可以作为多种光学材料的增透率和?;つ?,起到抗磨损、抗腐蚀、抗潮解和抗氧化的作用。
设备组成
主要由镀膜室、靶电极、射频电源、电磁线圈及控制电源、泵抽系统、真空测量系统、电控系统、气路系统、水路系统等组成。
样片

技术指标
